Albers, Jan: Kontamination in der Mikrostrukturierung. München, Carl Hanser Vlg., 2005.

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Albers, Jan:
Kontamination in der Mikrostrukturierung.
München, Carl Hanser Vlg., 2005.
ISBN/EAN: 3446402918

gefunden im Sachgebiet: Technik-allgemein

166 S. Broschiert

Guter Zustand. Bibl.-Ex.

[SW: Mikrosystemtechnik Reinraumtechnologie Prozesstechnologie]
Mikrosystemtechnik, Reinraumtechnologie, Prozesstechnologie

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