Borst, Christopher Lyle, William N. Gill and Ronald J. Gutmann: Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses. Fundamental Mechanisms and Application to IC Interconnect Technology. Springer, 2002.

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Borst, Christopher Lyle, William N. Gill and Ronald J. Gutmann:
Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses. Fundamental Mechanisms and Application to IC Interconnect Technology.
Springer, 2002.
ISBN/EAN: 9781402071935

gefunden im Sachgebiet: Technik

243 S.; Ill. Hardcover

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[SW: IC-Verbindungstechnologie, Chemie, Mechanik, Polierung, Polymere, Organosilikatgläser]
IC-Verbindungstechnologie, Chemie, Mechanik, Polierung, Polymere, Organosilikatgläser

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