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Leondes, Cornelius T. (ed.):
Mems/Nems, Handbook Techniques and Applications - 5 volume set : (1) Design Methods, (2) Fabrication Techniques, (3) Manufacturing Methods, (4) Sensors and Actuators, (5) Medical Applications and MOEMS.
Springer, 2006.
ISBN/EAN: 9780387245201

gefunden im Sachgebiet: Elektrotechnik

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